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DIENER真空等离子清洗机

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产品型号Tetra-150-LF-PC型

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厂商性质代理商

所在地深圳市

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更新时间：2022-07-15 15:49:14浏览次数：505次

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深圳蓝星宇电子科技有限公司

经营模式：代理商

商铺产品：37条

所在地区：广东深圳市

联系人：盘福翠（销售部）

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产品简介

真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm (150 升)
* 规格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体(适用于处理颗粒状样品)

详细介绍

Tetra-150-LF-PC型等离子清洗/刻蚀机

* 真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm （150 升）   * 分层（zui多到16层）电极-托盘   * 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器   * 高效针孔电极   * 2气路，MFC   * 电脑控制（Windows）   * 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配   * 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体    * 规格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 电源：AC 380V/50Hz

选装件
* 13.56 MHz 射频发生器    * 2.45 GHz 射频发生器    * 旋转圆筒舱体（适用于处理颗粒状样品）

详情参见配件选装指南

· 13.56MHz射频发生器 · 2.45GHz射频发生器 · 半自动控制系统 · 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 · 计算机（PC）控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 · 附加气体通路 · 自动真空舱门 · 设备自动门 · 条码阅读器 · 偏压测量系统 · 碟型阀 · 排气过滤系统 · 适用于腐蚀性气体系统