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| 仪器类型 | 便携式 |
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产品简介
详细介绍
IN USA系列是Teledyne API的一个品牌，OG-5000系列臭氧发生器设计用于生产超洁净，高纯度和高浓度的臭氧气体，非常适合各种半导体工艺应用。
水冷式臭氧发生器通过在高强度电场中激发分子氧来产生臭氧气体，这是通过在两个电极之间施加交流电压而建立的。为了获得高强度的电场，两个电极表面放置在非常紧密的机械接近位置。当跨越间隙整合的场的强度大于填充间隙的氧的击穿电压时，发生放电并产生臭氧。添加ppm级别的“掺杂”或“掺加”气体（如氮气）可大限度地提高臭氧输出量，并确保随着时间的推移高度稳定地产生臭氧。
OG-5000臭氧发生器系列中的高纯度润湿材料结合了创新的电池设计，*的密封技术和*的控制器，确保生产高纯度和高浓度臭氧气体，以满足所有苛刻要求在半导体行业的应用。
水冷式臭氧发生器产品特性
◆ 高纯度臭氧
◆ 非常高的臭氧浓度
◆ 比其他工艺气体更环保
◆ 低采购成本
◆ 无耗材
◆ 紧凑和模块化
◆ 经过验证的技术
技术规格
◆ 大臭氧产量：OG-5000-A 210g/Hr
OG-5000-B 150g/Hr
◆ 远程控制： 通过前面板或自动远程控制
通过SCI控制器远程关闭或伺服控制
原料气
◆ 氧气等级：6个9或更高，
◆ 氮级：5个9或更高（仅0.5％）
◆ 进料气体流速：0.5-20slpm
运行条件
◆ 臭氧出口压力：15至40 psig（通常设定为30 psig）
◆ 工作环境温度：5-35摄氏度
◆ 冷却水温度：18摄氏度+- 3摄氏度（不要低于当地露点)
◆ 冷却水流量：1 to 1.2 gpm at 60 psig
◆ 冷却水质量：任何晶圆厂级别(去离子水)
◆ 电源（VAC）：208/240 VAC单相或三相
◆ 频率：50或60Hz
◆ 电流：15 amps Breaker 10 Amps RMS
物理规格
◆ 尺寸（宽x高x深）：19“x 10.5”18“（48厘米x27厘米x45厘米）
◆ 重量：82磅 （27公斤）
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