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硅烷废气处理兴邦硅烷废气处理一般用燃烧法和洗涤法:1、燃烧法在多晶硅废气、废液处理中,采用高温焚烧将废气、废液转化为HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等产物,废气、废液焚烧的工作原理是将有机废水雾化、废气喷入焚烧炉,通入供给氧气(空气)和助燃燃料后点火燃烧,完成废气物的氧化热解处理
硅烷废气处理
兴邦硅烷废气处理一般用燃烧法和洗涤法:
1、燃烧法
在多晶硅废气、废液处理中,采用高温焚烧将废气、废液转化为HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等产物,废气、废液焚烧的工作原理是将有机废水雾化、废气喷入焚烧炉,通入供给氧气(空气)和助燃燃料后点火燃烧,完成废气物的氧化热解处理。
2、洗涤塔
通过焚烧炉焚烧后的废气再通过洗涤塔,对焚烧后的产物的深度洗涤处理,实现无害化、资源化处理,达到国家环保规定标准,高空排放。
3、洗涤塔简介
在洗涤塔中,废气从塔下部进入,经过填料表面与水膜充分接触,塔内设置一排或数排喷嘴,水雾在重力作用下向下运动,与废气气流方向相反,废气气流经水雾酸碱中和净化后向上排出,在气体排出之前设脱水层将气流中的水滴捕集下来,防止带出塔体外。硅烷废气处理
废气经水雾捕集后进入循环水箱,经过酸碱中和净化处理。由于废气在洗涤过程会有部分物质溶解于水中,使得循环水在长期运行后碱性浓度会降低,所以经常应向水池中补充适量的反应液,以使循环水保持一定的酸碱中和反应能力。
硅烷废气处理,李
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