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C60-40 离子源系统

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更新时间：2024-04-02 17:05:01浏览次数：170次

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束蕴仪器（上海）有限公司

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产品简介

C60-40是目前性能较高的C60光束，具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。从生物医学应用到聚合物科学和冶金，C60-40都可以做到这一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射，但由于更高的束能量，C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率，是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。

详细介绍

C60-40是目前性能较高的C60光束，具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。从生物医学应用到聚合物科学和冶金，C60-40都可以做到这一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射，但由于更高的束能量，C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率，是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。 C60-40是一款出色的型产品，Ionoptika销售的每台J105 SIMS仪器中都包含C60-40。

下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3D SIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成，覆盖在保护性光刻胶层中。这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择，因为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300 nm的光斑尺寸相结合，是一种强大的光束，无论您使用何种类型的样品，都能在2D和3D中提供较高分辨率。