超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎*去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。

超纯水设备的工作原理

1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。

2. 树脂截留水中的溶存离子。

3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。

4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。

5. 阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。

6. 浓缩了的离子从废水流路中排出。

超纯水是纯度*的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩膜版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

超纯水，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm