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北京华旭世纪科技有限公司
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北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了数字式技术，相比模拟技术，HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。
产品描述：：
北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了数字式技术，相比模拟技术，HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。
HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。
HXMF05系列，在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。
产品特色：：
● 数字化技术，更快速的响应时间
● 优于1%FS的高精度
● 出色的*稳定性
● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用
● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI
● 可配显示表，显示瞬时流量
● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输
远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等
典型应用：：
· 光伏及晶体制备 · 真空行业及镀膜 · 泄漏检测
· 炉窑及微反应装置 · 半导体行业 · 大学/研究所
· 分析仪器 · 气体混合配比 · 计量及计价
· 燃料电池 · 燃烧测试 · 其它气体测控场合
性能指标：：
介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体
介质种类：客户，也可现场更改-需咨询我们
标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）
测控量程：从0～5sccm到0～250slm任选,可定制更高流量范围
量程比：50:1
精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取数值大者（FS-满量程 RD-读数）
重复性：±0.2%F.S.
流量分辨率：0.1%F.S.
响应时间：1.5S
阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）
工作温度：5～45℃
工作湿度：0～*RH（无冷凝）
工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa
控制器 0.1～0.5MPa(>10SLM为0.1～0.3MPa)
zui大耐压：3MPa，可选高压选项10MPa
输入输出信号：标准为RS485，可选0～5V
通讯协议：Modbus
供电电压：24VDC@250mA
电气接口：DB15pin，2XRJ45
泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He）
接液材质：316L SS
密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户，包括：PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等
管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套
外形尺寸：长×宽×高：127×30×128.5mm
产品重量：流量计0.75kg
控制器0.9kg
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