一、产品简介：

      硅烷也称矽烷，是化学分子式为SiH₄的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃的气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。

      我公司生产的ZCRS型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及PECVD化学气相沉淀工艺所产生的废气。

二、产品结构：

             新型不锈钢硅烷燃烧塔设备由：不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。

三、工作原理：

     新型不锈钢硅烷燃烧塔采用优质不锈钢板进行制造，燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，它分别有一级燃烧塔和二级燃烧洗涤塔组成。根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性，特在燃烧塔中设置密闭燃烧室，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，控制在-100Pa左右。

      根据硅烷与空气接触而自然的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷淋处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器处理后由抽风机排入大气

     在进气方便采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得此在安全可靠性方面得到*保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。

四、适用范围：

   主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。该设备的成功应用，主要是我公司技术人员对国外半导体行业净化硅烷尾气技术方面的消化吸收，来满足国内太阳能、光能行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。