半导体保温管道电加热夹套 返回列表页

半导体保温管道电加热夹套的前因：

由于半导体生产常常需要使用各种化学气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气，这些气体如直接排到大气中就会形成大气污染。所以半导体生产厂家都需要对工艺设备尾气进行有效的处理，以减少对环境的污染。因此，在半导体制造机台中，尾气处理装置是半导体加工中的BB工具。在等离子体干法刻蚀过程中，气体供给口提供的气体主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，经过在真空反应室内的一系列反应后，气体排出口排出的尾气主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾气极易在室温下结晶，因此尾气处理过程中结晶体会附着在排气管的管壁上，极易对排气管进行堵塞，同时造成排气管的损伤。此过程会造成尾气处理不CD，同时提高生产成本。

需要加热马甲的部门：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部门，Pumping line和Pump exhaust管路需加装加热夹套。

加热马甲作用：

通过升高管路工作温度，减少管内介质结晶，避免管路堵塞，减少PM周期，提高产能。

加热马甲温度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

半导体保温管道电加热夹套