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北京华林嘉业科技有限公司
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机台用途: 机台用来完成对外延石英钟罩的清洗;工件进行内部腐蚀清洗并干燥，外部进行水洗。适用钟罩型号：3061；630/680
※ 机台名称：外延钟罩清洗机。
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
※ 机台数量：一台。
※ 机台重量：1000Kg(预估值)。
※ 清洗能力：客户提供图纸及详细参数，1 Pcs/cassette。
※ 清洗方式: 湿法喷淋+喷(烘)干。
※ 机台封面：使用德国ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 主要结构材质：使用德国ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 机台视窗：使用德国ROCHLING品牌透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度5mm) 。
※ 机台主机强度结构：整体40*40碳钢金属结构骨架。
※ 防漏盘：配有分体式聚丙烯磁白PP板材防漏盘。
※ 排风系统：排风强劲合理设计，为了排风效果达到，排风通道内设有风量导流板，为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到使用效果。
※ 机台操作面板设有EMO急停按钮；排放口配有可拆卸过滤网装置，防止碎硅渣进入下水管道系统；具有漏电断路保护装置，电气箱内部通入压缩空气作为正压保护。
※ 安全互锁装置: 装有工件感应器，只有感应到工件后才允许开始清洗工艺。
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性。
※ 可根据需要定时定量补充槽体药液。
※ 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定。
※ 全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
※ 清洗流程：首先人工手动将石英钟罩放入清洗立式活动腔体定位区域内，通过人工目测确认后手动将石英钟罩位置检测探头定位锁紧（与安全监测装置互锁）;检查水、电、气正常，活动门（双层）封闭，然后启动按钮→进入一次DIW清洗程序→一般废水主排放管路→进入稀酸洗程序→自动喷稀混酸（石英钟罩内壁）→自动卸酸排放至废酸管路→进入二次DIW清洗程序→一般废水主排放管路→进入浓酸洗程序→自动喷浓混酸（石英钟罩内壁）→自动卸酸排放至稀酸储液箱→进入三次DIW清洗程序→石英钟罩内壁DIW喷淋清洗（同时排水阀打开）→报警→HOT氮气内外壁吹干→合格报警→人工将石英钟罩取出清洗机，完成整个清洗工作。
※ 特点&优点
*视窗为双层设计，操作安全 *设备占地面积小（4.9㎡）
*喷淋装置喷淋均匀 *N2加热材料高纯无污染，in-line加热
*封压装置动作平稳，密封性强，耐腐蚀，多重检测 *温度自动校准
*软硬件互锁装置保证操作人员人身安全 *清洗能力是传统设备的2倍
※ 厂务需求规范数据
1 | 电源 | AC380VA±10（五线制）50Hz±1% 10KW（预估值）控制回路DC24V（符合大陆规定） |
2 | DI水压力 | 0.35～0.45Mpa 管径：DN40*1 PVDF材质管路； |
3 | CDA气源压力 | 0.45～0.7Mpa 管径: Rc3/8—3/4*1 插管式接头+PFA管路； |
4 | N2气源压力 | 0.3～0.45Mpa 管径: Rc3/8—3/4*1 插管式接头+PFA管路； |
5 | 温度 | 23±1℃； |
6 | 湿度 | 53±5%； |
7 | 一般排水口 | DN50*2 PVDF材质管路； |
8 | 废液排放口径 | DN50*2 PVDF材质管路； |
9 | 排气 | ￠200mm*2 500-800m3/h*2（预估值可以根据厂务要求调整）； |
10 | 设备后房维修空间尺寸 | 500mm—800mm； |
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