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EDMUND OPTICS阿秒多层反射镜#16-767

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产品型号#16-767

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更新时间:2024-05-07 10:50:16浏览次数:23次

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产品简介

产品介绍极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形

详细介绍

产品介绍

极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65eV(19nm),带宽为6eV(1.8nm),为 S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外(EUV)脉冲。 UFI极紫外(EUV)阿秒反射镜是基于高次谐波(HHG)、自由电子激光器(FEL)或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜;如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外(EUV)多层反射镜,请与我们联系。

性能特点
  • 设计用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脉冲
  • 具有38%峰值反射率的多层镀膜
  • ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
  • 另外提供专为5nm 设计的极紫外(EUV)平面反射镜 和 极紫外(EUV)球面反射镜
技术参数

直径 (mm):25.40 ±0.13

基底: 熔融石英(Corning 7980)

表面质量:10-5 (基质)

涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm

涂层: 多层EUV (19nm)

入射角 (°):5

有效孔径 (%):80设计波长 DWL (nm):19

边缘: 精细研磨

表面粗糙度(埃):<1

中心能源(eV):65 ±2

带宽 (eV):6

支持的脉冲持续时间:330阿秒

边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20

有效焦距 EFL (mm):500.00

半径 R1 (mm):1000.00

产品参数


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