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深圳市天禧仪器有限公司
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新型Prisma E扫描电子显微镜（SEM）将各种成像和分析模式与新的*自动化相结合，为同类产品提供最完整的解决方案。它非常适用于需要高分辨率，样品灵活性和易于使用的操作界面的工业研发，质量控制和故障分析应用。Prisma E成功获得了极为成功的Quanta SEM。
产品参数：
1 电子光学：
1.1 发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）
1.2 固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便
1.3 加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计
1.4 放大倍数：6× - 1000000×
1.5 极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命
1.6 电子束束流：可达到的值不小于2µA，并连续可调
1.7 使用工厂预对中灯丝更换方便
2 真空系统
2.1 1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2 高真空模式：＜1×10-5 Pa
2.3 低真空模式：10 – 130 Pa
2.4 环境真空模式：10 – 2600 Pa
2.5 高真空模式下的换样时间：≤150秒
2.6 低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒
3 分辨率
3.1 高真空模式下的分辨率
3.1.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.2 30 kV下3.5 nm (背散射电子)
3.1.3 3 kV下8.0 nm (二次电子)
3.2 环境真空模式下的分辨率（以英文样本公布的参数为准，并作为验收指标）
3.2.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2 具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
Prisma E材料科学SEM
对于需要性能和易用性的多用户实验室而言，最完整的SEM。
新型Prisma E扫描电子显微镜（SEM）将各种成像和分析模式与新的*自动化相结合，为同类产品提供最完整的解决方案。它非常适用于需要高分辨率，样品灵活性和易于使用的操作界面的工业研发，质量控制和故障分析应用。Prisma E成功获得了极为成功的Quanta SEM。
出色的成像
多用户实验室需要显微镜在短时间内生成具有相关数据的高质量图像。Prisma E采用基于四极枪组件的强大成像系统满足了这一需求，可在各种光束能量和真空条件下提供出色的结果。在所有这些条件下，地形图和成像图都提供了必要的样本信息。通过同步采集，该信息可供随后进一步解释和分析。
电子光学：
1.1发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）
1.2固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便
*1.3加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计
1.4放大倍数：6× - 1000000×
1.5极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命
1.6电子束束流：可达到的值不小于2µA，并连续可调
1.7使用工厂预对中灯丝更换方便
真空系统
2.11个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2高真空模式：＜1×10-5 Pa
*2.3低真空模式：10 – 130 Pa
*2.4环境真空模式：10 – 2600 Pa
*2.5高真空模式下的换样时间：≤150秒
*2.6低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒
分辨率
3.1高真空模式下的分辨率
3.1.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.230 kV下4.0 nm (背散射电子)
*3.1.33 kV下8.0 nm (二次电子)
**3.2环境真空模式下的分辨率（以英文样本公布的参数为准，并作为验收指标）
**3.2.130 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
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