腐蚀性气体分析质谱仪

腐蚀性气体分析质谱仪 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体，如反应中间产物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等强腐蚀性与半导体工艺气体。

20年前，Hiden在国际期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪，初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH₃、B₂H₆、PH₃等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF₃等，强氧化性气体如CIF₃、NF₃等。

20年来，Hiden在这一细分领域具有强大的产品力，针对不同程度的腐蚀气体分析，提供不同的解决方案。

HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体，HF，HCl，HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

主要特点：

• 连接件电抛光工艺处理
• 取样压力： 1mTorr to 1000Torr
• 高灵敏度三级过滤四极杆
• 检测限可达 5 ppb
• QGA专业版定量分析软件