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excimer紫外线172nm准分子灯的特性及应用
在工业应用中，常用的准分子波长是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有机分子的所有主要键，但碳和氧 (C=O) 之间的键和一些无机氧化物之间的键除外。这使其成为表面改性、光清洗、光固化的选择。
风冷紧凑型准分子灯单元，灯长160mm，该单元专为VUV 172波长的照射而设计，系统结构简单，具有低成本、高性能的特点，准分子UV灯可实现低温精密处理。
紧凑型准分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圆和掩模基板的灯。其特点是简单紧凑、高可靠性风冷型、无需更换灯管的长寿命准分子灯。*1电源为AC100V。
特点
长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管
本来，准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极，因此理论上它们被认为是长寿命灯，在国外有时被称为准分子灯。然而，如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻、更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形，往往导致灯管寿命较短，从而导致成本较高。
根据多年的现场经验，Excimer Co., Ltd.的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件，但不需要更换内部电极。灯管本身，实现低成本和高可靠性。*1
特征
风冷方式，安装方便。
灯管灯长160mm
电源 AC100V 50/60Hz
瞬时开/关灯功能。
适合研究和开发。
应用领域
表面润湿性和改性
光化学
反应性OH自由基过程
抗蚀剂去除
UV O3工艺
准分子灯功能应用
1、增加表面能量和亲水性
虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途，但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时，清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。
图表展示了玻璃、矿物和聚合物类型的例子，可以使用准分子技术结合。
2、更广泛的应用范围
在某些情况下，可以实现亲水化，其中整个表面变得润湿。此时，液体的接触角达到零度，将液滴转化为液膜。目前，准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。
图：铜、铝、硅的在准分子灯照射下接触角变化
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