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用于无尘室内5μm到100μm颗粒的可视化光源介绍

时间:2024/8/20阅读:549
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用于无尘室内5μm到100μm颗粒的可视化光源介绍

粒子计数器通常用于评估洁净室和洁净室。这是因为目标微观灰尘(颗粒)是肉眼看不见的。然而,典型粒子计数器的最大粒径为 5 μm。事实上,5μm到100μm的范围用肉眼是看不清楚的,但粒子计数器实际上无法判断这个范围内是否有灰尘。

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大于5μm的垃圾堆积。
在洁净室中所有看不见的垃圾中,真正麻烦的是尺寸小于1微米的微小颗粒。这是因为它们不会落到地面上,而是漂浮在周围,随着人们的移动而被卷入不同的地方。

然而,随着洁净室技术的进步,控制这种微小尺寸的灰尘变得相对容易。其核心是 HEPA 过滤器。去除 99.97% 以上的大于 0.3μm 的颗粒。洁净室使用这种HEPA过滤器、气流、正压、通风等来去除微小灰尘。




然而,5~100μm大小的灰尘虽然肉眼几乎看不见,但它却会落下并积聚起来,而不是随气流飘移。如果无人看管,洁净室在不知不觉中就会布满垃圾。
然后,在某个时刻,它会粘在工件上并导致缺陷。
◆对大于5μm的污垢有效清洗
事实上,这一点早已为人所知。例如,为了防止灰尘积聚在地板上,半导体工厂和其他设施中的常见做法是在地板上使用格栅结构,以便将灰尘倾倒在地板下方。另外,洁净室的四项原则是“不要存放"和“移走"。清洁是处理这种规模垃圾有效的方法。但问题是垃圾是看不见的!
◆5μm以上的粉尘从何而来?
我将在要点中列出主要内容。 1. 2、外界污浊空气侵入。工人产生的粉尘,3。洁净室内工具和设备产生的粉尘(静止时和运行时); 5、带入、产生附着在原材料、包装材料等上的垃圾。洁净室内积聚的碎片重新悬浮 根据工艺和工件的特性,还有各种其他可能的原因。
重要的是只有第 1 项可以在洁净室中直接处理。
◆对于10,000级用户,更重要的是采取5μm以上的防尘措施。
万级洁净室应用于许多行业和流程,但一个共同的特点是事后不能除尘,不能用于“粘贴"、“喷漆"、“印刷"、“沉积" ",或者“胶水",我认为在这个过程中有很多使用它的情况。很多情况下,影响好产品质量的碎片尺寸为5~100μm。
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不要忽视 5 至 100 μm 的灰尘!
我们来总结一下上面的故事。 10,000 级环境中的粉尘颗粒根据其大小可分为三种类型。 1.垃圾分为三种类型:可见尺寸〜2.100μm至5μm,不可见尺寸,以及粒子计数器无法测量的尺寸〜3.5μm至0.3μm不可见尺寸。在正常环境下,看得见的垃圾是看不见的 2.3。垃圾无法处理。洁净室中,除可见垃圾外,3.使用洁净室功能可以去除微小的灰尘。但不容忽视的是5~100μm的灰尘。这不能通过洁净室本身去除,除非通过清洁去除。
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左图显示了在一般环境和洁净室中除尘是多么容易。在洁净室中,更容易减少5μm以下的灰尘(颗粒),可以通过气流去除。

让我们通过使其可见来清除垃圾!
Polarion 洁净室灯是一种帮助可视化垃圾的工具。如果条件良好,此灯可以看到洁净室内部小至10μm左右的灰尘,
洁净室地板和墙壁上附着的灰尘,洁净室窗帘,洁净室中漂浮的灰尘,工件表面附着的灰尘,强烈突出工件上的裂纹、外观不良等缺陷。

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Polarion洁净室灯<<型号:NP-1>>是采用HID光源的C.C.洁净室灯系列中光源的手持灯。

如果条件好的话,在洁净尺内可以看到小至10μm左右的灰尘。它还突出显示洁净室中的漂浮碎片,以及地板、墙壁、洁净室窗帘和工件上的碎片和划痕。这是清洁时不可少的物品。


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