陈霞
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| 测量范围 | 1MPa |
|---|
日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是适用于半导体制造工艺等中使用的清洁气体压力控制的大流量型控制器，由气压控制单元（相当于AP100N）和圆顶型调节器单元组成。
此外，外部安装有压力传感器，来自传感器的信号输入到气压控制单元，气压控制组的阀被开/关控制，以调节调节器中球罩的内部压力自动调节以匹配任何设定的压力值。通过将流量传感器安装到外部，它也可以用作流量控制器。
AP250的控制流量为5001 / min，AP500的控制流量为2000L / min，两种类型的控制压力约为600kPa。
压力接头与适用于AP250的1/2“ VCR和适用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。适用于真空清洁气体，用于导体，惰性气体，腐蚀性气体，危险气体等可以使用。
日本ace适用于半导体制造工艺的压力控制器AP250 / AP500
规格
| 模型 | AP250 | AP500 |
| 主要用途 | 对于FPD，燃料电池 | 对于FPD，燃料电池 |
| 目标气体 | N2，空气，H2等 | N2，空气，H2等 |
| 入口压力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
| 耐压 | 小于1500kPa | 小于1500kPa |
| 压力设定 | 用显示设定装置设定 | 用显示设定装置设定 |
| 控制方式 | 圆顶内部的气动控制 | 圆顶内部的气动控制 |
| 控制压力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
| 流量 | 500L /分钟 | 2000L /分钟 |
| 响应时间 | 1秒钟达到设定值 | 1秒钟达到设定值 |
| 输入信号 | 0-5 VDC连续/关闭 | 0-5 VDC连续/关闭 |
| RS485 | RS485 | |
| 外部传感器输入 | （4至20mA标准） | （4至20mA标准） |
| 输出信号 | 报警输出，RS485 | 报警输出，RS485 |
| 管件 | 相当于1/2英寸的VCR或相当于1/2英寸的世伟洛克 | 相当于3/4英寸的VCR或相当于3/4英寸的世伟洛克 |
| 阀座泄漏 | 10-5Pa ・ m3 /秒以下 | 10-5Pa ・ m3 /秒以下 |
| 准确性 | 取决于压力传感器的规格 | 取决于压力传感器的规格 |
| 电源电压 | 24VDC±10％ | 24VDC±10％ |
| 目前的消费 | 200mA以下 | 200mA以下 |
| 工作温度 | 0-50℃无凝结 | 0-50℃无凝结 |
| 面之间的外部尺寸 | 宽70×深145×高124mm | 宽80×深178×高170mm |
| 压力传感器 | 无（外部） | 无（外部） |
| 显示设定装置 | 是（可以单独安装） | 是（可以单独安装） |
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