陈霞
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日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆，复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热
热循环测试
涂膜的耐热性评估
有机材料和树脂的加热和干燥
50°C / s快加热
可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热
精确的温度控制
紧凑的台式设计
| 控温范围 | RT ～ 700 °C |
|---|---|
| 样品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm （T） |
| 加热气氛 | 真空，静态气氛，流动气氛，空气 |
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
晶圆，复合晶圆的快速加热
光化学气相沉积衬底加热
热循环测试
涂膜的耐热性评估
有机材料和树脂的加热和干燥
50°C / s快加热
可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热
精确的温度控制
紧凑的台式设计
| 控温范围 | RT ～ 700 °C |
|---|---|
| 样品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm （T） |
| 加热气氛 | 真空，静态气氛，流动气氛，空气 |
日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR
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