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详细介绍
Keysight B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft ® Windows ® 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Keysight B1500A 具有极的低电流、低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它还是一款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括* NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色解决方案。
特性和优势
- 优异的 IV 测量性能：0.1 fA / 0.5 ?V 测量分辨率
- 测量特性包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、直接控制和针对 HV-SPGU 的任意线性波形生成（ALWG）GUI。 - 可选的集成电容模块支持高达 5 MHz 的 CV 测量
- 基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 ?V 的电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的电流测量分辨率能力
- 使用内置半自动晶圆探头驱动程序可轻松自动完成测试；在快速测试模式下，用户无需编程即可排列测试顺序
- 可选的高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出
- 可选的波形发生器/快速测量单元（WGFMU）提供 ALWG 和快速电流或电压测量能力
- 10 ns 脉冲 IV 解决方案，用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘硅）晶体管
- 典型测试模式可提供 4155/4156 界面的外观、风格和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加强用户交互
一般特性
- 基于 PC 的仪器，具有 Windows ® XP Professional 操作系统
- 针对电流－电压（IV）、电容－电压（CV）、脉冲生成、快速 IV和时域测量的综合解决方案。
- 用于电源监测单元（SMU）和其他模块类型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 个模块插槽
- 通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
测量能力
- 支持 0.1fA 和 0.5?V 电流－电压（IV）测量
- 支持准静态和中频电容－电压（CV）测量
- 支持精确的快速 IV 和时域测量，适用于各种应用，例如脉冲 IV、NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量。
- 支持用于大功率和存储器测试的高电压脉冲生成（高达 ±40 V）功能。
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