Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一样）不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高纯氩气氛围下和温度*的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业出色泵解决方案。
美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵特性：
1，“一体化”系统
2，同类产品中抽速高
3，无油、耐用、可靠
4，MTTF 超过 200000 小时
5，转子设计大幅度降低了重量和机械应力
6，拥有zhuanli的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
7，采用了安捷伦 A-PLUS 软件（原 T-plus）
涡轮分子泵应用范例：
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到稳定性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统
美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵技术规格：
| 抽速： | N2：2200 L/s | He：1900 L/s | Ar：2050 L/s |
| 压缩比： | N2：> 1 × 107 | He：6 × 103 | Ar：1 × 108 |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10-8 mbar | ||
| 入口法兰 | ISO 250F | ||
| 前级管道法兰 | KF 40 NW | ||
| 额定转速 | 31800 rpm | ||
| 使用推荐前级泵，无气体负载的启动时间 | < 6 分钟 | ||
| 前级压力 | < 0.5 mbar | ||
| 推荐的小前级泵 | > 60 m3/h（取决于气体流速要求） | ||
| 工作位置 | 任意位置 | ||
| 冷却要求 | 水 | ||
| 重量 ISO (250) | 52 kg（114.63 磅） | |
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