等离子磁控溅射镀膜仪系列

等离子磁控溅射镀膜仪系列

• 输入电源：220V AC 50/60Hz  

• zui高使用功率：100W

• 靶头数量：单个1英寸磁控溅射靶

• 设备功率：800W（包括真空泵）

• 样品台加热温度：500℃ 

• 一个1英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接

• 等离子磁控溅射镀膜仪系列仪器中安装有直径为50mm的不锈钢可旋转样品台，其与溅射头之间距离可调

• 溅射头角度可调

• 样品台可加热，加热温度室温-500℃

• 安装有一可手动操作的挡板

• zui大可制膜的直径为:4英寸

• 可以单独订购RF连接线作为备用

​合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年，是美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院兴办的*。 公司目前主要从事氧化物晶体（A-Z）系列材料研发生产、溅射靶材制备和材料实验室及电池研发全套设备。公司从成立之初研发高温超导薄膜基片大尺寸LaAlO3单晶做起，目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是世界供应商。设备研发的各种高温炉，大尺寸高温高压炉，热等静压炉，单晶生长炉等，用于石墨烯、高通量、蒸发镀膜、高温超导薄膜、超导块材和线材的制备设备，涉及新能源材料，电池制备等成套设备，并为科研工作者提供材料研究解决方案，已经成为企业。