高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统
KSI Nano型超声波扫描显微镜是拥有高分辨率的声学显微成像系统，它能对实测器件的表层缺陷作超高分辨缺陷检测。
在使用100MHz——2000MHz的超高频超声波时，这种分辨率得以实现。
KSI nano 还包含一个倒置光学显微镜，在进行超声波检测前可利用它调整样品的位置。
高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统还应用于世界各地的生命和物质科学研究。
- 换能器频率范围：100MHz——2000MHz频率实现高分辨率
- 探测深度<100nm
- 特殊平均模式使信噪比更好
- 同步光学成像和超声波成像使样品在结构上、生物化学性能上和机械性能上具有关联性。
- 光声效应增强了对比性
- 放大倍数：1000倍
- 入射光显微镜和倒置光学显微镜可调节
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