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广东金徕科技有限公司
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应用范围： · 去除光刻胶 · 晶圆打胶 · 湿法刻蚀前的晶圆清洁 · 去除 SU-8 · 清洁和表面活化 · 化学微量分析中的低温材料灰化 · 过滤器和滤膜的清洁 · 环氧树脂去除
等离子去胶机是深圳金徕针对小体积产品，小批量生产和实验室晶圆处理设计，适用于晶圆级和3D封装应用的理想设备。等离子应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、有机污染去除等。
产品规格
型号 | JL-RR05 | JL-RR10 | JL-RR15 |
高频输出功率 | 500W | 500W | 1000W |
频率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
检测功能 | 气压检测、 门检测 | 气压检测、 门检测 | 气压检测、 门检测 |
真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 |
气体控制 | 高精度质量流量计(MFM) | 高精度质量流量计(MFM) | 高精度质量流量计(MFM) |
质量流量计精度 | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S |
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
反应腔 | 石英 D160× 220 mm | 石英 D240× 260 mm | 石英 D240× 460 mm |
反应气体 | 3 路系统（可选） | 3 路系统（可选） | 3 路系统（可选） |
气体流量 | 0~300SCCM | 0~300SCCM | 0~500SCCM |
外形尺寸 | 438× 520× 760mm | 438× 520× 760mm | 650× 650× 650mm |
重量 | 约 60kg | 约 60kg | 约 70kg |
输入电源 | 单相 220V， 50/60Hz 8A | 单相 220V， 50/60Hz 8A | 单相 220V， 50/60Hz 8A |
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