台式紫外线照射设备的臭氧废气分解技术

OZFDT型臭氧分解装置

特征

• 分解来自台式紫外线照射设备的臭氧废气。

• 即使在没有局部排气设备的环境中也能对臭氧进行解毒。

• 非金属催化剂分解高浓度臭氧气体

• 废气浓度0.1ppm以下

• 长寿命设计 催化剂寿命 1 年

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当臭氧用于杀菌、除臭、清洗、重整等时，臭氧气体很难排出。如果直接用完，管道和风扇会腐蚀，很危险。如果排放到外面，它会扩散，但不安全，因为排气口附近是高浓度的臭氧气体。在工厂里，酸性废气是用引风机或洗涤器处理的，但在工厂外，一般用臭氧过滤器等排除。
传统的臭氧过滤分解器需要大容量、昂贵且占用空间，以在短时间内处理高浓度臭氧气体。为了使用具有小型臭氧利用装置的臭氧过滤器，通常在装置内部放置臭氧过滤器并使其循环直到臭氧气体被稀释。

我公司在半导体制造设备等方面积累了丰富的技术和经验，因为它是一种小型但具有高性能的臭氧过滤器，因此无需在设备中循环臭氧气体即可一次排出的废气浓度为0.1ppm以下实现并销售内置排气扇的臭氧分解装置。这种方法的优点是不需要循环处理，缩短了整个设备的处理时间。此外，由于臭氧分解过滤器位于装置外部，因此不存在由于臭氧过滤器中使用的活性炭和重金属催化剂等成分而导致装置内部再次污染的结构可能性。一次性臭氧消除装置是一种超洁净的设计理念