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多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
可以测量从半导体等精密加工产品到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。
紧凑的尺寸
轻松连接，仅 USB 连接
光学常数分析（折射率/消光系数）
| 光学镀膜 | 硬涂层、防滴膜等 |
|---|---|
| 平板 | 有机膜等 |
| 模型 | F3-CS-UV | F3-CS | F3-CS-近红外 |
|---|---|---|---|
| 测量波长范围 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm |
膜厚测量范围 | 3nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 250μm |
| 准确性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | |
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | |
*取决于样品和测量条件
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