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F-300 型 质量流量控制器

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更新时间:2021-06-16 12:50:13浏览次数:125次

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F-300 型 质量流量控制器

气体介质要求:洁净、干燥、无腐蚀性的气体

介质种类:Air、N2、O2、CO2、H2

量程:0~100sccm;0~500sccm

可控流量范围:0~102%F.S.

精度:±(0.8%RD+0.2%F.S.)RD⸺读数;F.S.⸺满量程

温漂:±0.12%/℃

重复性:±0.5%

零点漂移&满量程漂移:0.05%F.S./年

响应时间(T90):<1s

标定工况:20℃,1个大气压

工作温度:0~50℃

工作湿度:<90%,无冷凝

工作压力:1MPa

输出信号:RS-485;RS-232(可定制)

供电电压:12VDC

材质:主体材质为铝合金、阀体材质为黄铜、密封材质为FKM(Viton)

过程连接尺寸和类型:1/8"NPT外螺纹

安装方式;对位置无要求

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