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AM-5800型动态校准仪(便携版)

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更新时间:2021-06-16 13:21:34浏览次数:481次

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AM-5800型动态校准仪(便携版)

稀释气流量范围:(0~5)SLPM、(0~10)SLPM、(0~20)SLPM可选

校正气流量范围:(0~50)sccm、(0~100)sccm、(0~200)sccm可选 

流量控制精确度:±1%F.S.

流量线性:±(0.5~1)%F.S.

流量控制重复性:±0.2%F.S.

臭氧发生器输出:0.1μmol/mol ~6 μmol/mol(ppm)

响应时间:<60s(T98

标气输入口:1个

稀释气输入口:1个

工作温度:5℃~40℃

工作湿度:0~95%RH

尺寸:178mm×432mm×620mm

重量:<15kg(基本单元)

电源:100VAC~240VAC,45Hz~60Hz

模拟输出:10V、5V、1V、0.1V(可选)

通讯方式:RS232,RS485和以太网(选配)

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