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108 离子溅射仪

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更新时间：2021-07-29 22:00:45浏览次数：364次

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广州竞赢化工科技有限公司

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产品简介

108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜

详细介绍

108是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

技术参数

溅射系统
样品室大小	直径120mm x 120mm 高
靶材	标配黄金Au靶，Pt等其它靶材可选大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台	可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制	微处理器控制，安全互锁
溅射电流	5~45mA可调
溅射头	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
计量表	真空： Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA
厚度监控 (选件)	使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度
控制方法	具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s）
真空系统
真空泵	2级直连式高速真空泵
抽气速率	3.0 m3/小时，真空度到 0.1mb所需时间30秒.
极限真空	5 x 10^-3mba
桌上系统	真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统