1. 搭载高输出超短脉冲雷射(皮秒雷射)来实现高生产性，藉由超短脉冲雷射(皮秒雷射)加工来实现热影响较少的加工。 
2. 搭载的高速数字扫描振镜，实现高精度、高生产性，藉由马达编码器与光学尺来实现高再现性精度。 
3. 可能可以削减去胶渣处理 
4. 图像处理功能 
5. ASC机能（同步控制功能）节省大量加工时间，可使扫描振镜与加工平台来同歩进行高质量之连续加工功能。 
■ 标准功能
■ 选配
■ 扫描振镜専用CAD／CAM系统
| 分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 加工平台 | 行程 | 400×400mm | 滚珠螺杆驱动 |
| 加工范围 | 400×400mm | ||
| 速度 | 250mm/sec | 15000mm/min | |
| Ｚ轴 | 行程 | 150mm | |
| 速度 | 200mm/sec | 12000mm/min | |
| 外形 | 设置空间 | 1500×1500×2200mm | 可用电梯搬送 |
| 重量 | 搬送 | 1900Kg | |
| 定位 | 10μ以下 0.05μm | 搭载光学尺 | |
| 控制装置 | 定位（无轮郭指令） | 搭载Pitch误差补正功能 | |
| 图像处理 | 相机２式 | 加工行程全局检测 | 200万画素、黑白 |
| 出力监视器１ | 检查雷射输出 | 于雷射发振器出口来计测 |
■ 选配
| 分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 高度检测传感器 | 雷射传感器 | 检测薄膜材料高度用 | |
| 观察监视器 | CCD监视器 | 检视加工点周遭 | |
| 出力监视器２ | fΘLens之后的输出测定 | 检测薄膜材料高度用 | |
| 集尘装置 | 2.2KW集尘机 | PushPull方式 | |
| 自动化对应 | 个别对应 |
■ 扫描振镜専用CAD／CAM系统
| 分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 高度检测传感器 | 雷射传感器 | 检测薄膜材料高度用 | |
| 观察监视器 | CCD监视器 | 检视加工点周遭 |
▶ 金属细微加工 Precise Cutting of metal
▶ SiC 雕刻加工 SiC engraving
▶ 陶瓷生胚切断 LTCC green sheet cutting
▶ ITO膜剥离
▶ Au膜剥离
▶ 铜膜剥离及极小孔钻孔
▶ SiC 雕刻加工 SiC engraving
▶ 陶瓷生胚切断 LTCC green sheet cutting
▶ ITO膜剥离
▶ Au膜剥离
▶ 铜膜剥离及极小孔钻孔
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