特色
红外加热式热脱附质谱仪TDS1200Ⅱ是利用质谱仪在超高真空中，通过程序升温实时观察样品脱附逸出的化合物。由于在超真空中量测，即使微量的水、氢、CO2，也可以被检测，对于从样品中脱附的分子，可以定性及定量化学物质。还可以获得脱附气体的吸收/结合状态和扩散过程等信息。适用于容易进行红外线加热的测量，例如薄膜样品和具有薄片形式的样品。
Load Lock Chamber样品预载腔体
Load Lock Chamber样品预载腔体是实现高灵敏度、高效率(高通量)测量的关键技术。我们的传送腔体和样品转移机制，可以在超高真空下仅将样品快速插入分析室。 如果没有预载腔体，则每次更换样品时都必须将分析室暴露在大气之下。分析室暴露于大气之下会吸入大量空气(主要是水)，需要长时间抽真空才能恢复到合适的真空度。
红外线加热方式 Load Lock Chamber样品预载腔体是实现高灵敏度、高效率(高通量)测量的关键技术。我们的传送腔体和样品转移机制，可以在超高真空下仅将样品快速插入分析室。 如果没有预载腔体，则每次更换样品时都必须将分析室暴露在大气之下。分析室暴露于大气之下会吸入大量空气(主要是水)，需要长时间抽真空才能恢复到合适的真空度。
对于热脱附分析中，在加热样品时，不加热分析室或分析室内部的部件是非常重要。如果TDS 在分析期间加热腔室，则很难区分从样品中热脱附的气体和从腔室中热脱附的气体。 TDS1200II通过石英棒引入的红外辐射直接加热样品，即使在高温范围内也能抑制背景水平的增加，从而提供高灵敏度测量。
QMS游离腔 为了以高灵敏度检测热脱附的气体，QMS游离腔直接设计在样品上方。样品正上方的位置利于样品热脱附的气体直接到达QMS游离腔，从而能高度灵敏地检测易于沉积的金属或高分子量的有机化合物。
定量脱附的气体 数据处理软件可以对脱附气体进行定量分析，需要定期校准质谱仪的灵敏度。一般使用标准漏孔进行灵敏度校准需要准备与气体类型相同的昂贵标准品，并且校准过程需要花费大量时间。此外，当使用标准泄漏有毒气体时，安全卫生控制也更加严格。与标准泄漏校准方法相比，ESCO当前的离子电流量化程序可以快速、简单、安全地量化逸出气体。通过定期测量ESCO的 NIST可追溯氢标准样品，即可以获得高精度的结果。即使对氢气以外的气体也能进行灵敏度校正，并且已证实与AIST国家标准的标准泄漏校正的定量结果非常吻合。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 真空压力 | 主腔体 <5*10-7 |
| 样品尺寸 | 15*15*4 mm |
| 温度范围 | 50-1200℃ |
| 升温速率 | 1-180℃/min |
| 侦测器 | QMS |
| 感度 Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
| 软件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
▶热附脱质谱TDS应用硅晶圆逸散气体分析
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