仪器特点
◆ 超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 精密花岗岩机台，精度高，稳定性好；
◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ 进口自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
应用行业
机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、
端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(LCD)、印刷电路板（线路板、PCB）、汽车、科研、
钟表、仪器仪表等。
测量对象
LCD、FPC、PCB、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、SMT模板）等。
测量元素
长度、宽度、高度、孔距、间距、Pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等。
仪器特点
◆ 配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ Vispec全自动影像测量软件（版）；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、332、432、442、542等。
技术参数：
| VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | ||
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040×700×1620 | 1040×700×1620 | 1240×800×1620 | 1440×900×1620 | |
| 重量(kg) | 150 | 160 | 200 | 250 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 测量精度 | XY轴* | E2=(2.0+L/300)μm | E2=(2.5+L/300)μm | ||
| Z轴** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
| 速度 | XY轴 | 200mm/S | |||
| Z轴 | 100mm/S | ||||
| 光栅尺 | Renishaw光栅尺，0.4μm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 轮廓光 | LED冷光源，256级亮度可调 | |||
| 表面光 | 6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 | ||||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||||
| 光学系统*** | Navitar 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 | ||||
| 软件 | Vispec测量软件（版） | ||||
| 运动控制 | 自主的CNC直流伺服系统 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作环境 | 温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% | ||||
| 振动<0.002g，低于15Hz | |||||
| 电源 | 220V/50Hz/10A | ||||
* L表示测量长度，以毫米为单位。
** Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
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