超高精度CNC三坐标测量机
MICROCORD LEGEX 系列
产品特点
◇LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机，具有高精度水平，对所有可能产生误差
的因素进行严格分析并消除或地降低其影响。
◇固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。
采用FEM结构分析模拟的*测试保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降
至最小。另外，其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中，实现了超高精度。
◇配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高
性能的反射型线性编码器。为其性能提供了的位置检测功能。
◇LEGEX高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能，因此设置环境不需要恒温控制室，
就可以在18-22oC的温度范围内保证主机精度。
◇提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持超高精度测量，如要求
高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子。
产品规格
标准CNC 三坐标测量机
MICROCORD CRYSTA-Apex S500/700/900 系列
| 型号 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128 | |
| 测量范围 | X轴 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
| Y轴 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm | |
| Z轴 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
| 测量方法 | 超高精度线性编码器 | |||||
| 测量速度 | 200mm/s | |||||
| 加速度 | 1000mm/s2 | |||||
| 分辨力 | 0.00001mm | |||||
| 精度 (JIS B7440-2)*1 (2003) | MPEE 【L:测量长度(mm)】 | (0.35+L/1000)μm | (0.6+1.5L/1000)μm | |||
| MPEP | 0.45μm | 0.6μm | ||||
| MPETHP | 1.4μm | 1.8μm | ||||
| 导向系统 | 各轴均采用气浮轴承 | |||||
| 工作台 | 材料 | 铸铁*2 | ||||
| 尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | 1250×1250mm | |
| 紧固用螺钉孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | |||||
| 测量高度 | 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | 1056mm | |
| 负载 | 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | 1000kg | |
| 重量 | 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | 10500kg | |
| 空气供给 | 气压 | 0.4MPa*3 | 0.5MPa*4 | 0.4MPa*3 | ||
| 消耗量 | 120L/min*5?(正常情况下) | |||||
产品选件
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| SP25M (小形、高精度扫描测头) 外径25mm 的小形高精度多功能扫描测头。不限于扫描测量，还能进行高精度的点测量、向心点测量(附加选择功能) 的多功能扫描测头。安装在能自动调整角度的测头PH10MQ/10M上，能够完成高自由度的测量。 | |
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| QVP (视像测头) 从CCD 相机放大的工件的图像数据中，能自动检测边缘的测头。对于不能用接触式测头测量的细微加工品，以及不能施加测力的柔软物体，能够发挥出*威力。同时也可以通过自动对焦测量高度。 |
| MPP-310Q (扫描测头) | UMAP-CMM 该测头能够使用0.1mm, 0.3mm 的超小直径测针。安装在PH10MQ 上，能够从多个方向进行微组装产品的形状/ 尺寸测量。 |
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| MPP-10 (测量螺纹有效深度的测头) | SURFTEST PROBE（粗糙度测头） 可以装配在CNC三座标测量机的粗糙度侧头。由于引进自动探头交换系统，接触式测头和扫描测头（SPM25M)可以自由交换，能够进行尺寸、形状、粗糙度的复合自动测量。还有配有专用软件和多种选件检测器，满足各种测量的需要。 |
产品选件组
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| CAT1000S (自由曲面测评程序) | CAT1000P (脱机教学程序) |
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| MSURF(非接触激光测量评价程序) MSURF-S 是使用SurfaceMeasure(非接触激光测头) 来获取测量点云数据， 而MSURF-I 是用这些数据与原始数据模型比较，进而进行尺寸测量。此外，MSURF-G 是供脱机教学使用允许用户创建一个测量宏，即使没有实际的工件，提高测量机的正常运行时间。 | SCANPAK (测量轮廓形状程序) 扫描和评价工件轮廓的软件(2D)。通过设定测量数据、设计数据轮廓度的评价、以及测量数据的任意范围，能够进行各种各样的要素计算和要素间计算。支持扫描测头、激光测头等特殊数据的收集。 |
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| GEOPAK (功能强大的通用测量程序) MCOSMOS 软件系统的核心是几何形状要素测量? 分析用软件。其主要功能包括更容易观察测量程序和结果如实时图形显示的测量结果和功能，从结果图形直接调用元素。 | MeasurLink STATMeasure Plus (统计处理工序管理程序) 根据测量结果进行各种各样的统计演算处理。此外，通过实时显示管理图，能早期发现将有可能发生的不良现象(刃具的摩耗和破损等)。据此，可以实施有效的对策(变更切入量和加工条件等)。最后，本程序作为终端处理器，通过与上一级网络环境连接可以构建系统集中管理系统。 |
| MAFIS （叶片评价程序） 这个软件用来评价航空发动机等的叶片截面轮廓。 | GEARPAK-Cylindrical（齿轮测量和分析模块） CMM 控制技术的进步实现了对齿轮的测量，“GEARPAK”模块因此使复杂测量更方便。 |
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| VISIONPAK (画像测量程序) 进行QVP 的控制，以及从读入图像进行各种各样的演算分析的软件。 | GEARPAK (齿轮评价程序) 进行各种齿轮评价的程序。 | SurfaceMeasure 606 (非接触线性激光测头) CNC 坐标测量机使用的轻量、高性能、非接触线性测头。通过根据环境或材料自动设置适当的激光强度和相机灵敏度来实现无粉末测量，提供更简单更舒适的激光扫描环境。 |
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