全自动硅片超声清洗机主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部分组成。
产品描述：
1. 此装置是一个全自动的处理设备。
2. 10.4英寸大型触摸屏显示 / 检测 / 操作。
3. 清洗工作过程由 欧姆龙系列PLC控制。
4. 清洗作业员将装满工件的清洗篮放置在进料台上，清洗篮根据设定的程序，自动依次送到各工位，对工件进行清洗、漂洗，漂洗后的工件由链条传输到下料位，由链条送出，田后由作业员将清洗篮取走。
被清洗物：
硅料多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等。
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