这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
技术参数
产品名称 混气系统3路浮子--GSL-3F 浮子流量计 三种不同量程的浮子流量计，控制精度4%。 A:10-100ml/min B:16-160ml/min C:25-250ml/min 机械压力表（混气罐） -0.1-0.15MPa 接头和气管 在混气系统右侧安装三个气体进口 两通道气体流入气体混合罐，另一个通道不通过气体混合管。 两个出口（可连接管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体）。 12"长1/4"直径的聚四氟管及快插接头。 真空针阀 采用SS304不锈钢。 安装在混气系统的右侧。 安装带刹车的转向轮 外形尺寸:600L×600W×650H mm 可选 CVD 或者PECVD 液相气体发生器 净重 约75kg 质保期 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 免责声明 本站产品介绍内容（包含产品图片、产品描述、技术参数等）仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差，如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，公司会不定期完善和修改网站任何信息，怒不另外通知，请您见谅。 
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