CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。
技术参数
产品名称 | 小型双通道浮子混气系统--CGM-2F |
浮子流量计 | 两个浮子流量计可以将流量计速率控制在16 to 160mL/min |
混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气 |
机械压力表（混气罐） | -0.1-0.15MPa |
关键和阀门 | 采用ss304不锈钢。 三管件接口直径为1-4"（接管可选聚四氟或不锈钢）。
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外形尺寸 | 340L ×300D ×180H mm |
可选 | CVD或者PECVD。 液相气体发生器。 1200℃微型二通道混气CVD系统----OTF-1200X-S50-2F。 Plasma等离子清洗
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净重 | 约10kg |
质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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