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离子溅射仪

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更新时间：2024-04-26 15:41:33浏览次数：38次

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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪离子溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

详细介绍

KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪离子溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。离子溅射仪

参数

设备名称	小型溅射仪	小型蒸镀仪
控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制	7寸人机界面手动自动模式切换控制
工作电源	直流溅射电源	直流热蒸发电源
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1000W	≤1500W
输出电压电流	电压≤1000V 电流≤1A	电压≤12V 电流≤100A
真空	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
腔体真空	≤30Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm	石英腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品溅射源调节距离	40-105mm	70-140mm
蒸发坩埚容积		3ML
蒸发温度调节		≤1600℃
真空测量	皮拉尼真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口	KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	1 膜厚在线测试 2 分子泵