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北京裕隆时代科技有限公司
产品描述LJ-16T高真空热蒸发镀膜仪(镀膜机),由裕隆时代公司精心设计制作,是专为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备
产品描述
LJ-16T高真空热蒸发镀膜仪(镀膜机),由裕隆时代公司精心设计制作,是专为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备。可以在高纯氩气保护下进行多种离子处理,也可真空蒸碳和真空蒸金属。用于样品的外貌观察,尤其对成份定量分析更为适宜。采用分子泵系统,特别适于对真空要求高,真空环境好的用户选用。 应用领域:离子喷涂、离子溅射、离子清洗、真空蒸碳、真空蒸金属等工作。
技术参数
仪器尺寸:480mm W x 320mm D x 240mm H
工作腔室:硼硅酸盐玻璃 160mm Dia x 120mm H
真空系统: 涡轮分子泵,抽速为70L/s
旋转机械泵:抽速为2L/s两级旋转机械泵,带防返油电磁阀及油污过滤器
真空测量:采用复合真空计监测真空
极限真空度: 10-4mbar两级
工作真空度:10-1mbar(溅射真空度手动调整)
工作气体:溅射工作气体:氩气
溅射电流:0-20mA(磁控溅射靶0-100mA)
微调真空气阀:可连接φ3mm软管
电源:230伏/50Hz(包括泵电流为6安培)
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