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高温电炉双温区气氛管式炉多温区气氛管式炉三温区气氛管式炉石墨烯生长炉石英封装炉

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更新时间：2022-09-24 12:38:04浏览次数：125次

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西格马高温电炉

经营模式：其他

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产品简介

FGL（RTP）滑轨式管式炉(Tmax1100℃)滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的

详细介绍

FGL（RTP）滑轨式管式炉(T max 1100℃)

滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

1、工作温度RT～1000℃。

2、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

3、采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。

4、炉壳结构，双层炉壳风冷结构。

5、不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。

6、两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。

7、超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

8、安全保护当炉体漏电时自动断电。

额外选配炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；

注：选件需配置拓展柜体；

技术参数