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上海瓦克仪器有限公司
主要性能体现在于其减震的频率范围,以及有效减震百分比
主要性能体现在于其减震的频率范围,以及有效减震百分比。TMC从0.6Hz开始具备减震效果,并且具有对2Hz以上的有效频率范围的震动减震效可达90%的性能。主要采用压电主动震动消除。TMC的出现,使得许多高精度和稳定性要求的实验和仪器运用成为可能。TMC减震台的“刚性"式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择,它使此类工具能够在嘈杂的环境中以高标准运行。
主要特点:
• 始于0.6Hz的隔振
• 2Hz开始的主动减振效果可达90%的的隔振效果
• 高灵敏度,低频惯性速度传感器
• 没有任何空气隔振系统的局限性
• 串行和高力压电技术
主要应用:
• 聚焦离子束隔振
• 扫描电子显微镜隔振
• 精密仪器和机械设备隔振
• 半导体工业隔振
• 小型双光束仪器隔振
• 高大工具的建筑地面振动隔离
• 半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备的震动隔离
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