Teledyne HFM-D-300A/B 质量流量计和HFC-D-302A/B 质量流量控制器
HFM-D-300A/B质量流量计，流量范围为0-5 sccm至0-25 slm
HFC-D-302A/B质量流量控制器，流量范围0-5 sccm到0-25 slm
全金属，快速响应，精确度高！
质量流量技术提供可靠，可重复和准确的气体流速测量。
Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A质量流量仪器的流量范围为0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金属密封件，提供模拟和数字输出，并由不锈钢制成。通过基于Windows的软件界面提供简单，用户友好的数字通信。
数字功能中包含传感器，阀门和溢流的自诊断功能。同样令人感兴趣的是自动调零功能，它可以检测阀门何时关闭并自动重置零点。这些质量流量计和控制器可以存储多达10种不同范围和气体的校准。另一个功能是内置累加器，用于监控用户设定条件下的燃气使用情况。
±（读数的0.5％+满量程的0.2％）精度
应用和行业
泄漏测试
薄膜沉积
高纯度气体输送
热火焰喷涂
气体混合
制药工艺
Teledyne HFM-D-300A/B质量流量计
范围：/t0-5 sccm到0-25 slm（N 2）
准确性：/t+（读数的0.5％+满量程的0.2％）
重复性：/t+ 0.15％的FS
*大工作压力：/t500 PSIG（可选1000 PSIG）
安顿时间：/t通常<1秒
模拟I / O（标准）：/t0 - 5 VDC
模拟I / O（可选）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
数字I / O（标准）：/tRS-232，RS-485
模拟连接器：/t15针超小型D
数字连接器：/t双RJ-12
电源要求：/t11 - 36 VDC 3.1瓦（*大值），单极或双极（例如+ 15 VDC，+ 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，镍200,304 SS，302 SS
Teledyne HFC-D-302A/B控制器
范围：/t0 - 5sccm至0 - 25 SLM（N 2 ）
准确性：/t+ （0.5％读数+满刻度的0.2％）
重复性：/t+ FS的0.15％
*大工作压力：/t500 PSIG（可选1000 PSIG）
安顿时间：/t典型值<1 - 2秒
模拟I / O（标准）：/t0 - 5 VDC
模拟I / O（可选）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
数字I / O（标准）：/tRS-232，RS- 485
模拟连接器：/t15针微型d
数字连接器：/t双RJ-12
电源要求：/t11 - 36 VDC 6.7瓦特（*大），单极性或双极性（例如 + 15 VDC， + 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，镍200，302 SS，304 SS，的Kalrez（阀座）
