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CYG505、506微型压力传感器

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更新时间:2022-10-28 18:37:46浏览次数:88次

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产品简介

标称尺寸外径5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小,对流场扰动小,量程低、灵敏度高,动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。

详细介绍

标称尺寸外径5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小,对流场扰动小,量程低、灵敏度高,动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。

CYG505的压力敏感元件采用*的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造、三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。用CAD辅助的有限元分析基础上的力学构件设计、版图布局设计、加上精密的各向异性腐蚀,解决了低量程下线性度和输出灵敏度的矛盾。小至2mm径向尺度的微型芯片,具有低达20kpa的量程和优秀的线性度,满足了水工缩模测量的精度与灵敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承压的工作模式,因此它可以用于导电性的水及其它液体介质。有特殊腐蚀性或溶渗性的介质订货时请与厂家协商。

为了防止使用安装处偶然浸水造成表压传感器的失效,CYG505在尾端出线处采用了PVC导管作为通气及防水保护,微型电缆从PVC管中孔内引出。由于工艺难度,PVC管的长度限制为7m。

CYG505为表压模式,标准压力量程为25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa。为方便水工用户,也可以按mH2O为单位订货量程为2、3、5、10、20、50、100。

CYG505的设计及制作已获得国家发明,并获得2007年度中国国家发明优秀奖,号为:ZL.8。

CYG505传感器的低量程产品的固有频率达138kHz,为激波管试验验证。它具有0~20kHz的使用带宽,上升时间小于1us,满足水工测量的动态要求。

CYG506微型螺栓安装型传感器是CYG505的衍生品种,它的外形尺寸见附图。


1、性能指标参数

指标/档级非线性精度
±%FS
迟滞重复性
%FS
零位温度系数
×10-4FS /℃
灵敏度温度系数
×10-4FS /℃
零位时漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、满量程输出:  最小值20mv  典型值60mv   值100mv

3、输入输出阻抗:最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、输入工作电流:1.5mA(恒流源)

5、工作温度范围:-20℃~+80℃(可应要求扩宽)

6、补偿温度范围:0℃~+50℃(可应要求扩宽)

7、过载能力:    额定量程的200%(至1.2Mpa)

8、加速度灵敏度:<0.002%FS/g

9、外形尺寸图:

image.png
注:CYG505系列产品的标准产品引出微型电缆长度为5m,超过5m长度收费,但防水保护的PVC管最长只能套7m。

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