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杭州华盼科技有限公司
简要描述:EMPro是针对研发和质量控制领域推出的型多入射角激光椭偏仪。
项目 | 技术指标 |
仪器型号 | EMPro31 |
激光波长 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚测量重复性(1) | 0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
折射率测量重复性(1) | 1x10-4 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) |
单次测量时间 | 与测量设置相关,典型0.6s |
结构 | PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有的准确度) |
激光光束直径 | 1mm |
入射角度 | 40°-90°可手动调节,步进5° |
样品方位调整 | Z轴高度调节:±6.5mm 二维俯仰调节:±4° 样品对准:光学自准直和显微对准系统 |
样品台尺寸 | 平面样品直径可达Φ170mm |
较大的膜层范围 | 透明薄膜可达4000nm 吸收薄膜则与材料性质相关 |
较大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
仪器重量(净重) | 25Kg |
选配件 | 水平XY轴调节平移台 真空吸附泵 |
软件 | ETEM软件: l 中英文界面可选; l 多个预设项目供快捷操作使用; l 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合; l 方便的数据显示、编辑和输出 l 丰富的模型和材料数据库支持 |
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