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爱德华edwardsSTP Maglev 真空分子涡轮泵STP-iX455 涡轮分子泵

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更新时间：2022-11-13 13:03:32浏览次数：173次

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产品简介

STPMaglev真空分子涡轮泵爱德华edwardsSTPMaglev真空分子涡轮泵STP-iX455涡轮分子泵为了实现始终如一的可靠性能和零维护，您每次都可以依赖于Edwards的STPMaglev涡轮分子泵来实现

详细介绍

STP Maglev 真空分子涡轮泵爱德华edwardsSTP Maglev 真空分子涡轮泵STP-iX455 涡轮分子泵

为了实现始终如一的可靠性能和零维护，您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵来实现。

我们的套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出，现在已经在世界各地安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中，表现出了的性能级别和可靠性。

对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物泵送、维护量少和低振动的应用， STP Maglev 涡轮分子泵是泵。转子通过磁力轴承实现悬浮，因此，消除了转子与泵其余部分之间的所有接触。除振动极低之外，消除接触还意味着转子旋转时不会发生轴承接触，也就无需对泵进行后续维护。

产品开发的每个设计阶段均融合了节能技术，以确保降低能耗和提升运行效率，同时不损害质量和性能。

提高了生产效率：
更快抽空到基准压力
体积紧凑：
节省空间并且易于安装
低拥有成本：
低功耗和水电消耗
免维护：
经济

应用

STP_Product_Matrix

平板显示器
我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量和Z终零湿度制程条件，同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。

LED
我们的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化"低功耗紧凑型解决方案。

光电
我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化，可满足客户的特定应用要求，同时具有的制程气体处理能力、始终如一的性能的Z高可靠性。

半导体加工
磁悬浮转子经过专门设计，降低了舱室污染并延长了维修间隔，使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。

产品系列

*的高吞吐量系列
全新的“优势"系列磁悬浮涡轮泵经过专门设计，可提供下一代半导体蚀刻和 CVD 制程所需的Z高吞吐量级别。它们是以超可靠、高性能 H 系列产品为基础，通过持续改进技术开发而成。其*的转子技术和 3D 叶片设计与一系列可供选择的 Z佳材料相结合，因而能够在与现有的许多型号相同的占用空间内创造出下一代高吞吐量涡轮泵。该系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生产效率，吞吐量高达 6 slm，并具有更高的 H2、N2 和 Ar 性能。

集成的控制器和电源
这是真正的一体化涡轮泵解决方案，具有出色的特性并可实现节省。集成的控制器不再需要非集成控制器通常所需的连接电缆和机架，有助于减小占地面积，节省宝贵的工厂用地以及安装时间和成本。此外，板载控制器包含一个小型电源，与现有产品相比，它可在高气体流量下实现大约 32% 的能耗降低。此系列产品的生产效率为 300 l/s 到 4500 l/s，这意味着它是许多制程和应用的理想选择。

超高真空
超高真空系列磁悬浮涡轮分子泵是供许多半导体、表面科学或高能物理领域使用的泵。这种泵具有的可靠性、性能、清洁程度以及的低振动级别。这些泵全部是直流供电，无需使用电池，采用一个具有自动调节和*诊断功能的半机架控制器。该系列中泵的速度范围为 300 l/s 到 1000 l/s，极限压力小于 10-10 mbar（CF 法兰），另外还有一个用于严苛制程的“C"型。

超高真空低振动系列
超高真空低振动型包含超高真空涡轮分子泵的所有特性，另外还有一个内置隔振器，可提供超低振动性能。

STP 控制器

通过从我们的 SCU 控制器系列中进行选择，选择正确的控制器以便与您的 STP Maglev 涡轮泵配合使用。

SCU-350 控制器
SCU-350 控制器是符合 EU-RoHS 标准的控制器，适用于小型涡轮泵。它兼容当前的控制器型号，但是低频范围下的抗振性更好。它的输入电压也较低，有助于降低电气容量和工具功耗。SCU-350 的电噪抗扰度得到提高，并具有通用电压功能，工作电源电压范围为 100-240 VAC，无需进行切换。

SCU-800 控制器
SCU800 涡轮泵控制器是一种数字化的控制器，对于中型泵具有的兼容性。新的 AVR（自动减振）技术可进一步降低振动级别，而高级预维护调用功能可以提前通知准确的维护时间。

SCU-XL800 控制器
数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级，这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。它使用数字信号处理器 (DSP) 技术，可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统，在这些系统中，低的振动对于应用至关重要。

SCU-1600 控制器
数字化的 SCU-1600 涡轮泵控制器与 2000 l/s 到 4500 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。它提供可靠性、增强的通信功能以及泵的兼容性，减少了对后备装置的要求并极大降低了总运行成本。

概述

STP-iX455 涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统，与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆，不需要水冷却。

此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

应用

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K

PT640Z010

STP-iX455 涡轮分子泵 ISO160K

PT640Z020

STP-iX455 涡轮分子泵 DN100CF

PT640Z050

STP-iX455 涡轮分子泵 DN160CF

PT640Z060

功能和优势

紧凑型设计，包括集成的控制器
创新性自传感轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
自动平衡系统 (ABS) 标准
自动减振 (AVR) 标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2

技术数据

入口法兰	ISO100K
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>1 x 104
极限压力	6.5 x 10-6 Pa
Z大工作压力	1.3 x 10-1 Pa
允许的前级压力	67 Pa
额定速度	55000 rpm
启动时间	<6 分钟
固定位置	任何方向
冷却方法	自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却）
润滑油	不需要
前级泵	240 lmin-1
泄露磁通量
轴向方向	<100 m/Gauss
径向方向	<100 m/Gauss
环境温度范围	0 至 40 °C
存储温度范围	-25 至 55 °C
重量	15 kg