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天津福川制冷设备技术有限公司
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低温真空泵低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，低温真空泵广泛应用于：1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；2）光学镜片镀膜；3）磁控溅射镀膜生产线；4）空间环境模拟；5）真空排气台等
低温真空泵
低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，
低温真空泵广泛应用于：
1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；
2）光学镜片镀膜；
3）磁控溅射镀膜生产线；
4）空间环境模拟；
5）真空排气台等。
低温真空泵主要特点：
1）低温真空泵是吸附式真空泵，工作时无需前级泵；
2）低温真空泵需要再生；
3）低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。
低温真空泵的主要优点：
1）高极限真空度。基本型可达10-6Pa真空度，特殊要求时可达10-7Pa以上；
2）大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比拟；
3）真正洁净。
4）运行成本低
5）安全可靠
6）使用方便
7）使用寿命长
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