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真空晶体生长炉

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更新时间:2022-11-04 15:18:50浏览次数:465次

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产品简介

一·设备用途主要用于LED行业的蓝宝石晶体红宝石晶体,氟化物晶体,氟化镁警惕等宝石类晶体制备  二·产品特点  1·模块化设计,结构紧凑,外形美观,  2·采用底部电动升降

详细介绍

  一·设备用途主要用于LED行业的蓝宝石晶体红宝石晶体,氟化物晶体,氟化镁警惕等宝石类晶体制备

  二·产品特点

  1·模块化设计,结构紧凑,外形美观,

  2·采用底部电动升降或者钟罩式炉体升降,结构精巧,方便,**平稳装卸料方便

  3· 采用触摸屏+plc控制方式,自动化程度高,操作直观,功能强大。

  4· 在触摸屏内可预存几十种烧结工艺,一次编辑,以后直接调用使用,省去多次编辑工艺的麻烦,避免输入错误,烧坏产品。

  5· 烧结的温度,真空度,等数据可实时记录,也可随时启动停止记录,减少无用数据,数据可查询,可导出下载。

  6· 烧结温度高,用钼丝发热体,**可达1600℃,石墨发热体钨发热体**可达2300℃。

  7·自带水冷机,省去客户做水路工程的麻烦。

  三·设备参数

  1.额定工作温度: 1600℃

  2.冷态极限真空度: ≤5×10-3Pa

  3.压升率: ≤3Pa/h

  4.坩埚内尺寸:Ф350×500mm(直径×高,可满足直径350mm晶体生长)

  5.隔热环 厚度50mm,内孔360mm

  6.炉膛尺寸: 直径3Ф450mm

  7.测温系统:热电偶

  8.控温精度: ±0.1℃

  9.加热区: 2区(以隔热环为界,上部是高温区,下部是低温区)

  高温区,石墨加热,高度300mm

  低温区,电阻丝加热,高度200mm

  10.下降速度:慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)

  快速升降50-200mm/min(带手动升降)

  11.中心轴有效行程/载重: ~450mm/200kg

  12.炉内充气压力: ≤0.1MPa

关键词:热电偶
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