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P17探针式轮廓仪台阶仪形貌仪粗糙度仪表面形貌测试

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更新时间：2023-06-30 11:46:26浏览次数：380次

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产品简介

KLA是半导体在线检测设备市场较大的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着的

详细介绍

KLA是半导体在线检测设备市场较大的供应商，在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着的。P-1 7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-1 7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保待了P-17技术的较好测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了的性价比。P-17可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D洌量，其扫描可达150 mm而无需图像拼接。P-170 F的载物台支待300mm直径晶圆。
从可靠性表现来看， P-17具有比较好的测噩重复性。Ult ra li t e ®传感器具有动态力控制，良好的线性，和精准的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测噩可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。

关键词：检测设备台阶仪轮廓仪传感器