【6英寸】 SYSC-150系列 高精度程控匀胶机 旋涂仪 Spin Coater
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SYSC-100A型高精度程控匀胶机(Spin Coater),是*新一代旋转涂膜设备。精密高速伺服电机驱动,转速达8000rpm,转速精准。*大旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)。全自动程序控制。耐腐蚀,304不锈钢机身,腔体采用NPP材料,旋转台采用PEEK材料。安全保护功能,真空吸片检测,腔体关闭检测。主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的......
SYSC-100A高精度程控匀胶机 旋涂仪 Spin Coater
一. 产品应用
SYSC-100A高精度程控匀胶机(Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是*新一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
二. 产品特点
1. 旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机,具有高精度、高稳定性、高可靠性。
2. 优异的旋转加速性能,*大旋转加速度可达40000rpm/s(有负载的真实加速度)。
3. 两项安全互锁功能:
(1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能,确保腔体关闭后才可启动,防止匀胶过程中飞片造成 人身伤害;
(2) 真空吸片具有真空检测功能,若发生真空泄漏,基片无法吸附牢固,则立即停止运行。
4. 机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。
5. 匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料,经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液,避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。
6. 旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料,经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。
7. 匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程*多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序,随时调用。
8. 7英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程;
9. 真空泵的开启与关闭均为自动程序控制,无需手动操作。
10. 旋转前增加预吸片步骤,“预吸片时间"*多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,“解吸片时间"*多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。
11. 标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。
三. 技术参数
产品型号 | SYSC-100A |
可镀膜基片尺寸 | Ø10~100mm |
旋转速度 | 10~8000rpm |
转速分辨率 | 1rpm |
速度精度 | <0.02% |
旋涂加速度* | 0~40000rpm/s |
每段加速时间 | 999.9s |
每段旋涂时间 | 9999.9s |
时间分辨率 | 0.1s |
预吸片时间 | 99s |
解吸片时间 | 99s |
**大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.
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