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EVG105 抗蚀处理系统

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产品型号EVG105

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更新时间：2023-06-16 17:28:13浏览次数：60次

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深圳市科时达电子科技有限公司

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产品简介

可以在EVG105烘焙模块上执行软烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙过程

详细介绍

可以在EVG105烘焙模块上执行软烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙过程。受控的烘烤环境确保了均匀的蒸发。可编程接近销提供了抗蚀剂硬化过程和温度曲线的控制。EVG105烘焙模块可同时处理多达300毫米的晶圆或多达四个100毫米的晶圆。

特征
独立烘焙模块
高达300毫米的晶圆尺寸或同时多达四个100毫米的晶圆
温度均匀性≤1°C @ 100°C，烘烤温度高达250°C
用于手动和安全晶片装载/卸载的装载销
烘烤定时器
基板真空(直接接触烘烤)
N2吹扫和接近烘烤0-1 mm距离的晶片到加热板可选
不规则形状的基底

技术数据
晶片直径(衬底尺寸)
300毫米
电炉
温度范围:≤250°C
手动调整升降销至所需的接近间隙