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KW-4T/匀胶机

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更新时间:2023-06-18 18:37:34浏览次数:290次

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联系人:李国海

产品简介

KW-4T/匀胶机

详细介绍

KW-4T/匀胶机

商务与技术参数

序号

品名

型号

数量

品牌

生产厂家

产地

1

匀胶机

KW-4T

1

中科院

中科院微电子所

中国

2

备注:  1.1%的发票              2.含运费                 3.质保1

序号

项目名称

详细参数

1

主要应用

广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产,可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。

2

主要特点技术规格

1.转速 300-9000 RPM

2.转速稳定性  1RPM

3.旋涂均匀性  <1%(片内);<1%(片间)

4.基片尺寸 Φ5-Φ100mm圆片,100mm×100mm方片

5.程序控制 全触摸屏操作,快速启动,人性化界面,6步工艺调速设计,0-1800s时间可调,6.专业用户的的需求

7.整机尺寸 280×220×160mm)

8.工艺支持 依托中科院微电子所工艺平台,提供微纳加工工艺支持

9.适应材料 适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAsGaNInP等各种材料,工艺服务

10.特殊夹具定制   20年特殊夹具设计经验,匹配超薄、异形、脆性易碎样品

11.电机功率   40W

3

真空泵

型号:KW-550A/T   抽速:>1.5/  功率:300W    噪音:55db    电压:220v/50Hz 真空度:-700mmHg 重量:7.3Kg 外形尺寸(mm):250*130*225

4

基本配置

主机(电源线、说明书、3种样品片托) + 真空系统(电源线、8mm气管2.5+消音器+说明书)


关键词:匀胶机 真空泵
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