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苏州展坤机电科技有限公司
产品参数/ProductparameterDRYVAC是新推出的干式压缩真空泵,根据应用特点泵可配置不同组件
DRYVAC是新推出的干式压缩真空泵,根据应用特点泵可配置不同组件。DRYVAC系列为满足光电、显示器和加工工业应用特点而专门开发。
产品详情
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本参数:
抽速:450~5000m3/h
真空度:<0.005mbar
电机功率:11~30KW
噪音:65dB(A)
冷却方式:水冷
技术参数表[50Hz] | DRYVAC DV |
| ||
DV 450 | DV 650 | DV1200 | DVR5000 C-i | |
DV 450-r | DV 650-r | DV1200 ATEX | DVR5000 S-i | |
DV 450 S | DV 650 S | DV1200 S-i | DVR5000 i | |
抽气速率[m³/h] | 450 | 650 | 1250 | 3800 |
压力差[mbar] | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-4 |
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本特点:
1、泵为密封结构,对外只有无磨损的O圈静密封,消除泄漏可能,适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑,占地面积小高度低,进气口三个方向可选,非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计,使其成为目前市场上最省电的螺杆泵,低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制,集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护,提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少,噪音低,操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本,的可靠性、灵活性和系统正常运行时间。
螺杆真空泵-DRYVAC DV典型运用:
薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL
显示器和玻璃镀膜
耐磨涂层技术
卷绕镀
真空炉和热处理
真空干燥
电子束焊接
空间模拟
科研领域
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