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300钟罩镀膜机

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更新时间：2022-11-20 15:26:42浏览次数：240次

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产品简介

300钟罩镀膜机

详细介绍

型号		EVAP400S
主真空室		方形前开门结构，尺寸L×W×H:400×400×450mm
进样室(选配)		开门结构，尺寸约为ø200 X 300mm
真空系统配置	主真空室	复合分子泵、机械泵、气动闸板阀
真空系统配置	进样室	机械泵、分子泵、阀门
极限压力	主真空室	≤6. 67x10-5pa(经烘烤除气后）
极限压力	进样室	≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后）
恢复真空时间	主真空室	30分钟可达到6. 6x10-4 pa(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气）
恢复真空时间	进样室	30分钟可达到6. 6x10-3 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气）
磁控靶组件		2-4套永磁靶；靶材尺寸ø60mm (其中一个可溅射磁性材料）；各靶射频溅射和直流溅射兼容；靶内水冷；三个靶可共同折向上面的样品中心；靶与样品距离90~110mm可调；每个靶配气动挡板。
基片加热台	样品尺寸	ø3英寸
	运动方式	基片可连续回转，转速0-30rpm
	加热	基片加热温度600℃±1℃
	挡板形式	进口SMC转角气缸控制
工艺气路系统		质量流量控制器2-4路
*可选部件	进样室磁控靶组件	永磁靶，靶材尺寸ø 60mm。
	膜厚仪	国产/进口
	气泵	无油润滑
	计算机控制系统	自动控制、工艺读入、参数设置、实时监控等功能
设备占地面积	主机	1800X1200mm2
设备占地面积