污水处理设备 污泥处理设备 水处理过滤器 软化水设备/除盐设备 纯净水设备 消毒设备|加药设备 供水/储水/集水/排水/辅助 水处理膜 过滤器滤芯 水处理滤料 水处理剂 水处理填料 其它水处理设备
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刻蚀机
HF刻蚀 均匀性 刻蚀速率均一性： 基板内 : ≤ 8% 基板间 : 3% 批次间 : 3% 基板边缘保证距离：≤5mm O3成膜 均匀性 刻蚀速率均一性： 基板内 : ≤ 8% 基板间 : 4% 批次间 : 4% 基板边缘保证距离：≤5mm 玻璃表面 接触角 ≤ 5° Pure Glass 基板边缘保证距离：≤5mm Particle 管控 清洗后颗粒 A: 总颗粒数 ≤15，M+L≤5，L≤0（S：1~3μm M：3~5μm，L：5μm） B: 颗粒增加 ：0 C: 颗粒去除率 ＞98% 设备流程 Robot Input→EUV→Buffer→Lift+Rinse+Turn→O3→Lift+Rinse+Turn→HF→Lift+Rinse+Turn→O3→Lift+Rinse+Turn→Final Rinse+BJ→AK→Robot Output 优势 节约空间； 功能完备，除产能外，性能等同量产线，特别适合用于产能要求不高的研发线； 价格低廉，使用方便，各个模块独立可独立设置运行。
真萍科技作为专业的烘箱设备制造厂商，可根据客户特殊需求定制您需要的满意产品，有需求的客户
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